| |
| Институт, сформировавшийся в начале 80-х годов в составе Института физики твердого тела, ведет фундаментальные исследования в области физических основ микроэлектроники и свойств микро- и нанообъектов, создания методов контроля и диагностики, получения
новых материалов. Институт находится в Черноголовке крупном подмосковном научном центре. Сервер содержит информацию об истории и структуре института, избранные публикации. http://www.ipmt-hpm.ac.ru |
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН